[发明专利]溅射靶用背衬板无效
申请号: | 200510114034.4 | 申请日: | 2005-10-19 |
公开(公告)号: | CN1763241A | 公开(公告)日: | 2006-04-26 |
发明(设计)人: | 茂山和基;森元荣一 | 申请(专利权)人: | 株式会社钢臂功科研 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 陈平 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种溅射靶用背衬板包含在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为23.0×10-6/℃或以下的铝合金。这种背衬板防止了和靶结合时出现的翘曲,减小了Al-Nd合金薄膜的膜沉积(溅射)时出现的应力,省去了翘曲的矫平处理,减小了安置在靶和背衬板之间的硬钎料的破裂,从而能够长期进行稳定的膜沉积操作。 | ||
搜索关键词: | 溅射 靶用背衬板 | ||
【主权项】:
1、一种溅射靶用背衬板,该背衬板包含铝合金,其中所述铝合金在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为23.0×10-6/℃或以下。
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