[发明专利]形貌测量方法及其测量装置

摘要

一种形貌测量方法(surface profile measuringmethod)，是以一宽频光源经分光镜分束后，分别照射待测物体表面与一参考面，由两个表面的反射光产生干涉，以一固定步幅，改变物体表面与分光镜的距离，产生一高度值对应于光强度的干涉图谱。接下来，扫描此干涉图谱，找出对应于最大光强度的第一干涉条纹。然后，于第一干涉条纹及其附近的干涉条纹中，使用干涉图谱对称性原则，找出对称性最佳的一第二干涉条纹。随后，在此第二干涉条纹上，利用相位补偿法，计算出第二干涉条纹的波峰所对应的零光程差处，即为待测物体表面的高度值。

主权项

1.一种形貌测量方法，以一宽频光源经一分光镜分束后，分别照射一物体表面与一参考面，并以一定步幅，改变该物体表面与该分光镜的距离，以产生一高度值对应于光强度的干涉图谱，该形貌测量方法至少包括下列步骤：扫描该干涉图谱，找出对应于最大光强度的第一资料点；于该第一资料点及其周边一定范围内的资料点中，找出一第二资料点，使该干涉图谱相对于该第二资料点具有最佳对称性；以及依据该第二资料点及其邻近的资料点，找出该第二资料点所座落的干涉条纹的波峰，于该干涉图谱上所对应的高度值。