[发明专利]一种利用掺杂锰酸盐异质结材料制作的光位置探测器

摘要

本发明涉及一种利用掺杂锰酸盐异质结制作的光位置探测器，包括在p型或n型衬底上相应外延生长一层n型或p型光响应薄膜层，所述的光响应薄膜层为R_1－xA_xMnO₃掺杂锰酸盐材料薄膜；一组2个电极对称设置在光响应薄膜层上的两边，该组电极输出X轴方向的电压信号，另一组2个电极对称设置在光响应薄膜层的另外两边上，该组电极输出Y轴方向的电压信号，并且两组电极相互垂直；电极引线的一端与电极连接，电极引线的另一端是信号输出端。该种光位置敏感器件为横向光生伏特型器件，输出光敏信号较大，可达200毫伏，制备方法简单，利用半导体工艺，还可以制备出多个单元、多元列阵式器件。

主权项

1.一种利用掺杂锰酸盐异质结材料制作的光位置探测器，包括：外壳，p型或n型衬底(1)，和在其上相应外延生长一层n型或p型光响应薄膜层(2)，以及在光响应薄膜层(2)上设置电极和电极引线；其特征在于，所述的光响应薄膜层(2)为掺杂锰酸盐材料薄膜，其掺杂锰酸盐是R1-xAxMnO3，其中R包括：La、Pr、Nd或Sm，A包括：Sr、Ca、Ba、Pb、Sn、Te、Nb、Sb、Ta、Ce或Pr，x值为0.01～0.5；所述的电极分为第一电极(3)、第二电极(4)为一组，2个电极对称设置在光响应薄膜层(2)上的两边，该组电极输出X轴方向的电压信号，第三电极(5)、第四电极(6)为一组，对称设置在光响应薄膜层(2)的另外两边上，该组电极输出Y轴方向的电压信号，并且两组电极相互垂直；电极引线(7)的一端与电极连接，电极引线(7)的另一端是信号输出端。