[发明专利]激光加工机和激光加工方法

摘要

本发明的激光加工机能对排列了许多加工对象，产生了加工部位的中心坐标在加工公差内的偏差或加工对象的装载位置的偏移等的工件，进行高效率和高精度的激光加工。本发明的激光加工机具有：装载排列着许多加工对象的工件(200)；根据数控数据向XY方向移动的XY载物台(32)；设置在图像摄取工位上，具有斜向照明光学系统(17)及检测光学系统的图像摄取头(10)；设置在激光加工工位上，具有激光源(21)，根据上述图像摄取头所获得的来自各个加工对象的图像信号而获得的偏转方向控制数据，使激光束向XY方向偏转的XY光偏转器(22)及把所偏转的激光束从垂直方向入射到各加工对象中的照射透镜(23)的激光加工头(20)。

主权项

1.一种激光加工机，其特征在于，具有下列各部分：装载排列着许多加工对象的工件，根据数控数据向XY方向移动的XY载物台；设置在图像摄取工位上，具有对排列在由上述XY载物台来移动的工件上的各个加工对象进行斜向照明的斜向照明光学系统，以及接受来自由该斜向光学照明系统进行斜向照明的各加工对象的漫反射光并将其转换为图像信号的检测光学系统，获得来自上述各加工对象的图像信号的图像摄取头；设置在与上述图像摄取工位并排设置的激光加工工位上，具有发射激光束的激光光源，根据由上述图像摄取头所获得的来自各个加工对象的图像信号而获得的偏转方向控制数据，使从上述激光光源出射的激光束向XY方向偏转的XY光偏转器，以及把由该XY光偏转器所偏转的激光束，从垂直方向柄入射到各加工对象的照射透镜，把激光束从上述照射透镜照射到排列在由上述XY载物台移动的工件上的各个加工对象上以进行加工的激光加工头。