[发明专利]一种电容式硅传声器

摘要

本发明是一种电容式硅传声器，由自由振膜为电容的一个可动极板，以消除振膜内应力，以复合层厚背极，形成电容的另一个不动极板。在自由振膜边缘设计锯齿，减少释放牺牲层所需时间，避免由于长时间释放牺牲层而造成对其它结构的破坏，且提高振膜的振动灵敏度。本发明包括硅衬底、绝缘层、自由振膜、牺牲层以及背极；振膜下面为体硅腐蚀形成的背腔，振膜和背极之间形成气隙，背腔与气隙之间隔着振膜；在背极上与振膜形状相对应的位置，有大量的声孔，声孔与气隙直接相通；其为背极在上、振膜在下的电容结构，电容的上极板为低应力刚性背极，下极板为自由振膜。本发明具有高灵敏度、低噪声的特性，制作工艺简单，容易实现。

主权项

1.一种电容式硅传声器，包括：硅衬底、绝缘层、自由振膜、牺牲层，上电极以及背极；其特征在于：自由振膜下面为体硅腐蚀形成的背腔，自由振膜和背极之间为气隙，背腔与气隙之间隔着自由振膜；其为背极在上、振膜在下的电容结构，电容的上极板为低应力刚性背极，下极板为自由振膜；在背极上与自由振膜形状相对应的位置，设有复数个声孔，声孔与气隙直接相通。