[发明专利]整合型干涉扫描方法有效
| 申请号： | 200510115621.5 | 申请日： | 2005-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN1963376A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 林耀明;张维哲;张宏彰;廖界程 | 申请（专利权）人： | 致茂电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/023 | 分类号： | G01B9/023;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明整合型干涉扫描方法主要是整合VSI、PSI测量各自的优点，而达到没有测量范围限制以及高精确度的特点。尤其是基于VSI测量和PSI测量之间的斜率校正因子、位移校正因子，对VSI、PSI的高度数据数组进行整合计算，干涉扫描系统可仅使用宽频光源即可完成所需的扫描程序，进而降低扫描系统的复杂度与误差。 | ||
| 搜索关键词： | 整合 干涉 扫描 方法 | ||
【主权项】：
1.一种整合型干涉扫描方法，是整合水平扫描测量、相位移测量所测量出的高度数据数组，该高度数据数组可用来计算出待测物的表面轮廓，该整合型干涉扫描方法包含：借助宽频光源的干涉扫描系统对该待测物进行扫描，并获得扫描信息；基于该扫描信息以VSI测量出VSI的该高度数据数组；针对零光程差的位置，基于该扫描信息改以PSI测量出PSI的该高度数据数组；以及基于VSI测量和PSI测量之间的斜率校正因子、位移校正因子，对VSI的该高度数据数组、PSI的该高度数据数组进行整合计算。
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