[发明专利]用于涂覆基片的装置无效
| 申请号： | 200510115666.2 | 申请日： | 2005-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN1789481A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | U·霍夫曼;M·施莱尔;J·M·迪盖斯－坎普;M·本德尔 | 申请（专利权）人： | 应用薄膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 德国艾*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于涂覆基片的装置，该装置包括汽化源及位于汽化源与基片之间的隔汽部件。隔汽部件的温度被保持在至少待汽化材料的汽化温度，或在该温度之上。该隔汽部件被实施为一石英阀，此阀包含一个球形封闭部件，该球形封闭部件与一可活动杆连接。在第一位置，该球形封闭部件封闭与汽化源相通的蒸汽输送管；而在第二位置，该球形封闭部件贴靠一球面护罩，从而封闭了一条石英管。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 涂覆基片 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于涂覆基片的装置，该装置包含：1)汽化源(4)，用于汽化要用来涂覆基片(17)的材料；2)蒸汽输送装置(15、16、18)，用于将蒸汽从所述汽化源(4)输送到所述基片(17)；3)机械隔汽部件(19至23)，其位于所述蒸气输送装置(15、16)中；其特征在于，所述隔汽部件的温度被保持在待汽化的所述材料的汽化温度或该温度以上。
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