[发明专利]液晶显示装置用基板及具有其的液晶显示装置及制造方法无效
| 申请号： | 200510115832.9 | 申请日： | 2003-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1766720A | 公开（公告）日： | 2006-05-03 |
| 发明（设计）人： | 土井诚児;藤川彻也;伊丹直滋;田中义规;星野淳之;黑泽纪雄 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1343 | 分类号： | G02F1/1343;G02F1/1368;H01L29/786;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于信息设备等的显示部的液晶显示装置用基板以及具有该基板的液晶显示装置及其制造方法，目的是提供一种可以减少制造工序，并且能获得良好显示质量的液晶显示装置用基板以及具有该基板的液晶显示装置及其制造方法。在玻璃基板(10)上形成TFT(20)，在TFT(20)上形成保护膜(36)，在保护膜(36)上形成在源极(30)、栅极总线端子(40)和漏极总线端子(44)上开口的抗蚀剂图形，在该抗蚀剂图形表面上照射紫外光后，以200℃以上的烧制温度来烧制，形成具有皱状表面的皱状树脂层(52)，将皱状树脂层(52)用作蚀刻掩模来蚀刻保护膜(36)和绝缘膜(22)，在皱状树脂层(52)上形成反射电极(16)和保护导电膜(41、45)。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶 显示装置 用基板 具有 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种反射型液晶显示装置的制造方法，其特征在于，具有：在基板上涂覆有机树脂形成有机树脂膜的工序；烘焙所述有机树脂膜的烘焙工序；在所述有机树脂膜上照射带电粒子只使表层硬化的带电粒子照射工序；对所述有机树脂膜进行热处理在其表面上形成皱状凹凸的热处理工序；在所述有机树脂膜上形成反射电极的反射电极形成工序。
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