[发明专利]阻抗匹配装置

摘要

阻抗匹配装置(3)根据输入端(3a)的行波的电压Vfi以及反射的电压Vri、通过预先测定而取得的有关可变电容器(VC1、VC2)的可变值的信息、和与可变电容器(VC1、VC2)的可变值信息对应的阻抗匹配装置(3)的T参数，来算出输出端(3b)的行波的电压Vfo。阻抗匹配装置(3)根据行波的电压Vfo以及反射波的电压Vro和T参数，来算出相对于与可变电容器(VC1、VC2)的可变值有关信息的输入端(3a)的输入反射系数(Γi)。阻抗匹配装置(3)在可变电容器(VC1、VC2)的可变值的输入反射系数的绝对值|ΓI|中选定最小的值，根据该值来调整可变电容器(VC1、VC2)的阻抗。

主权项

1.一种阻抗匹配装置，其被设置在高频电源和负载之间，通过改变阻抗可变元件的阻抗，来使所述高频电压和负载的阻抗匹配，其特征在于，包括：高频信息检测装置，检测出所述阻抗匹配装置的输入端的、与从所述高频电源向所述负载侧行进的行波有关的信息，和与从所述负载向所述高频电源侧行进的反射波有关的信息；可变元件信息检测装置，检测出与所述阻抗可变元件的可变值有关的信息；第一存储装置，保持并存储通过预先测定而取得的、相对于与多个所述阻抗可变元件的可变值有关的信息的所述阻抗匹配装置的特性参数与关于所述阻抗可变元件的可变值的信息的对应关系；第一计算装置，根据由所述可变元件信息检测装置检测出的与所述阻抗可变元件的可变值有关的信息、存储在所述第一存储装置中的所述特性参数、和由所述高频信息检测装置检测出的与行波有关的信息以及与反射波有关的信息，来算出所述阻抗匹配装置的输出端的与行波有关的信息和与反射波有关的信息；第二计算装置，根据由所述第一计算装置算出的、与所述阻抗匹配装置的输出端的行波有关的信息以及与反射波有关的信息、和存储在所述第一存储装置中的多个所述特性参数，来算出相对于与多个所述阻抗可变元件的可变值有关的信息的所述阻抗匹配装置的输入端的输入反射系数；第二存储装置，保持并存储由所述第二计算装置算出的多个输入反射系数与关于阻抗可变元件的可变值的信息的对应关系；第一特定装置，选定在存储于所述第二存储装置中的多个输入反射系数中的、与预先设定的所希望的目标输入反射系数最近似的输入反射系数，特别规定与对应于选定的输入反射系数的所述阻抗可变元件的可变值有关的信息；和阻抗调整装置，根据通过所述第一特定装置所特定的与所述阻抗可变元件的可变值有关的信息，来调整所述阻抗可变元件。