[发明专利]制造具有凹面部分的基材的方法、具有凹面部分的基材、微透镜基材、传输屏和背投

摘要

本发明公开了一种制造具有多个凹面部分61的基材6的方法。基材6用于制造具有多个作为凹面透镜的微透镜的微透镜基材，所述微透镜使用多个凹面部分61而形成。该方法包括步骤：制备基底基材7，所述基底基材7具有两个主表面；在基底基材1的两个主表面之一上形成至少一层；在所述至少一层中形成多个开口81以形成掩模，所述多个开口81的每个的直径是0.8至20μm；通过将具有其上已形成多个开口81的掩模8的基底基材进行蚀刻过程以使所形成的每个凹面部分61具有基本椭圆形状，从而在基底基材7中形成多个凹面部分61；和从基底基材7(6)上去除掩模8。在这种情况下，多个所形成的凹面部分61在基底基材7上以犬牙织纹方式排列。

主权项

1.一种制造具有多个凹面部分的基材的方法，所述基材用于制造具有多个作为凸面透镜的微透镜的微透镜基材，所述微透镜使用所述多个凹面部分形成，所述方法包括步骤：制备基底基材，所述基底基材具有两个主表面；在基底基材的两个主表面之一上形成至少一层；在所述至少一层中形成多个开口，以形成掩模，所述多个开口的每个的直径是0.8至20μm；通过将具有其上已形成多个开口的掩模的基底基材进行蚀刻过程，以使每个所形成的凹面部分都具有基本椭圆形状，从而在基底基材中形成多个凹面部分；和从基底基材上去除掩模，其中所述多个所形成的凹面部分在基底基材上以犬牙织纹方式排列，其中，如果每个所形成的凹面部分在垂直于所述基底基材主表面的方向上的深度被定义为D(μm)，并且通过将每个所形成的凹面部分在其长轴方向上的长度和每个所形成的开口的直径之间的差值除以2而得到的值被定义为S(μm)，那么D和S满足关系：0.90≤S/D≤1.40，和其中从所述基底基材的一个主表面之上观察时，所有的多个所形成的凹面部分在其中形成多个凹面部分的可用面积中所占的面积相对于可用面积的比率是90％或更大。