[发明专利]用于生产三氟化氮的工艺

摘要

本发明涉及改进反应工艺，其允许取得优异的NF₃产品产量，同时最小化从工艺气体中逃出的未反应氟和最小化通过工艺引起的熔融物废料(HF/NH₃)。基本的NF₃工艺为F₂与铵离子源例如氟化氢铵(ammonium acid fluoride)在形成NF₃的条件下反应，工艺中的改进包括：在第一温度下，将所述F₂和所述铵离子源以平流(cocurrently)引入且向下流通过填充柱或棒状柱；在所述的柱中使所述F₂和铵离子源发生反应；和在比所述第一温度高的第二温度下，从所述柱去除NF₃和副产物的混合物。

主权项

1.一种通过铵离子源的氟化来生产NF3的工艺，其包括：将包含F2和铵离子源的液体混合物引入到选自无规填充柱或结构填充柱的柱的入口；所述的液体混合物以平流通过柱，从而使所述F2和铵离子源在所述柱中发生反应产生NF3和副产物HF；从所述柱的出口去除包含NF3的反应产物；和从反应产物中回收NF3。