[发明专利]一种大口径深型非球面镜检测系统有效
| 申请号： | 200510116819.5 | 申请日： | 2005-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1746648A | 公开（公告）日： | 2006-03-15 |
| 发明（设计）人： | 侯溪;伍凡;杨力;吴时彬;陈强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种大口径深型非球面镜检测系统包括菲索型干涉仪、部分补偿器、被测非球面镜、电控平移台及其计算机控制系统，部分补偿器把干涉仪标准镜头出射的参考平面波前转换为非球面波前，通过计算机控制电控平移台移动部分补偿器，产生的参考非球面波前将与被测非球面相应的环带区域相匹配，通过干涉仪把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来，由环形子孔径“拼接”算法将所得到的子孔径测试数据进行全孔径波前重构，从而获得被测非球面面形信息。本发明具有所需补偿器容易制造和装调等优点，为大口径、大相对口径非球面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 深型非 球面镜 检测 系统 | ||
【主权项】：
1、一种大口径深型非球面镜检测系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪、部分补偿器、被测非球面镜、电控平移台及其计算机控制系统，部分补偿器位于菲索型干涉仪和被测非球面镜之间，平行置于入射光路中，部分补偿器把干涉仪标准镜头出射的参考平面波前转换为非球面波前，使得其与被检非球面理论形状较直接出射的球面波前更接近，然后通过计算机控制电控平移台移动部分补偿器，所产生的一系列参考非球面波前将与被测非球面相应的环带区域相匹配，在所匹配的环带区域里的入射参考非球面波前与被测非球面表面之间的偏离量将减小到干涉仪的测量范围内，产生一系列环带干涉条纹，通过干涉仪把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来，由环形子孔径拼接算法将所得到的子孔径测试数据送入计算机系统进行全孔径波前重构，从而获得被测非球面面形信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510116819.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
