[发明专利]压电/电致伸缩器件

摘要

提供一种压电/电致伸缩器件，可以有效防止薄壁膜片部的振动的衰减，维持高变位，同时应答性好且可进行高精度(高分辨率、高灵敏度)的检测，其具有：具有厚壁部11和薄壁膜片部12的陶瓷基体1；和具有包含下部电极21、压电/电致伸缩膜22和上部电极23的分层结构的压电/电致伸缩元件2；并构成为与压电/电致伸缩元件2的驱动联动，陶瓷基体1的薄壁膜片部12振动；另外，构成为满足下述(A)～(C)规定的形状和尺寸关系：(A)薄壁膜片部的形状，是朝外方凸出的拱形，且拱形的朝外方的突出量是5～50μm；(B)薄壁膜片部的架设宽度是600～2000μm；(C)所述厚壁部的高度对宽度之比(高度/宽度)是0.25～3。

主权项

1.一种压电/电致伸缩器件，其特征在于：具有：陶瓷基体，该陶瓷基体，具有厚壁部和一体地架设在所述厚壁部的端面上的薄壁膜片部，并由所述厚壁部与所述薄壁膜片部形成了与外部连通的空腔；和压电/电致伸缩元件，该压电/电致伸缩元件，具有被固定在所述陶瓷基体的薄壁膜片部的外表面上的，包含下部电极、压电/电致伸缩膜和上部电极的分层结构；所述陶瓷基体的薄壁膜片部可以与所述压电/电致伸缩元件的驱动联动地振动；该压电/电致伸缩器件满足下述(A)～(C)规定的形状和尺寸关系：(A)所述薄壁膜片部的形状是朝外方凸出的拱形，且所述拱形的朝外方的突出量是5～50μm；(B)所述薄壁膜片部的架设宽度是600～2000μm；(C)所述厚壁部的高度对宽度之比(高度/宽度)是0.25～3。