[发明专利]具有高热耗散的合成结构无效
申请号: | 200510117253.8 | 申请日: | 2005-10-31 |
公开(公告)号: | CN1779950A | 公开(公告)日: | 2006-05-31 |
发明(设计)人: | A·布萨戈尔;B·富尔 | 申请(专利权)人: | S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;H01L23/36;H01L21/00 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 本发明公开了一种应用于光学、光电子学或电子学的合成结构(40),该合成结构(40)包含支撑晶片(20)、由选自单晶材料的材料制成的层和由介电材料制成的层(13),其特征在于,选择支撑晶片(20)的制备材料、由单晶材料制成的层(11)和介电层(13),并调整每层的厚度,使得在环境温度和600°K之间,合成结构(40)的热阻抗低于或等于具有与合成结构相同尺寸的单晶块SiC晶片的热阻抗的大约1.3倍。本发明还涉及用于制备该合成结构(40)的工艺。 | ||
搜索关键词: | 具有 高热 耗散 合成 结构 | ||
【主权项】:
1.一种应用于光学、光电子学或电子学的合成结构(40),所述合成结构(40)包含支撑晶片(20)和由选自单晶材料的材料制成的层(11)和由介电材料制成的层(13),其特征在于,选择支撑晶片(20)的、由单晶材料制成的层(11)的和介电层(13)的组成材料,并调整每层的厚度,使得在环境温度和600°K之间,合成结构(40)的热阻抗低于或等于具有与合成结构相同尺寸的单晶块SiC晶片的热阻抗的大约1.3倍。
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