[发明专利]漂移量靶标反馈的长距离二维偏振光电自准直装置和方法

摘要

本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种漂移量靶标反馈的长距离高精度二维偏振光电自准直装置和方法。二维光电自准直光管采用偏振激光光源、偏振分光镜和λ/4波片组合，利用激光的偏振特性避免测量光束回馈激光光源进而避免测量光束进一步的角漂移量；分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的激光光源固有的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对其角漂移量进行实时监测，计算机根据其监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制和消除在测量光束传播途径中耦合在测量光束中的角漂移量。

主权项

1.一种漂移量靶标反馈的长距离二维偏振光电自准直装置，包括二维光电自准直光管和计算机，其特征在于还包括漂移量监测装置、分光式靶标探测器和二维光束偏转装置，所说的二维光电自准直光管由依次放置的偏振激光光源、分划板、偏振分光镜、λ/4波片、CCD图像传感器和准直物镜构成，其中分划板位于准直物镜的焦点处，CCD图像传感器位于准直物镜的焦点的共轭位置处；所说的二维光束偏转装置由压电陶瓷驱动电源、压电陶瓷位移器、二维微位移工作台和偏转反射镜组成；二维光电自准直光管中偏振激光光源、偏振分光镜和λ/4波片组合，利用激光的偏振特性避免测量光束回馈激光器进而避免测量光束进一步的角漂移量；分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的激光器固有的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对角漂移分量反馈光束的角漂移量进行实时监测，计算机根据其监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制和消除在测量光束传播途径中耦合在测量光束中的角漂移量。