[发明专利]用选择性金属蚀刻提高声共振器的性能有效
| 申请号： | 200510117370.4 | 申请日： | 2005-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1794572A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 冯宏俊;罗纳德·S·法兹罗 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H01L41/08 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种声共振器，包括衬底、第一电极、压电材料层和第二电极。衬底具有第一表面并且第一电极与该表面相邻。压电材料层与第一电极相邻，第二电极与压电材料层相邻，且位于第一平面内并具有边缘。压电材料层具有相邻于第二电极边缘的凹槽结构。 | ||
| 搜索关键词： | 选择性 金属 蚀刻 提高 共振器 性能 | ||
【主权项】：
1.一种声共振器，包括：衬底；与衬底相邻的第一电极；与第一电极相邻的压电层，所述压电层包括凹槽结构；和与压电层相邻的第二电极，所述第二电极具有边缘。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安捷伦科技有限公司，未经安捷伦科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510117370.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
