[发明专利]受激准分子灯点灯装置及受激准分子灯点灯方法有效

专利信息
申请号: 200510118108.1 申请日: 2005-10-20
公开(公告)号: CN1763905A 公开(公告)日: 2006-04-26
发明(设计)人: 铃木贵之;住友卓;松本茂义 申请(专利权)人: 优志旺电机株式会社
主分类号: H01J65/00 分类号: H01J65/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 黄剑锋
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种受激准分子灯点灯装置,将供给到受激准分子灯的高频电力的频率作为1MHz至1GHz而降低对受激准分子灯的施加电压时,即使全长较长的受激准分子灯的点灯时,也可缩短放电等离子体均匀地分布于放电空间整体为止的时间,而即使有重复点灯熄灯的状况,也可进行均匀的受激准分子光的照射处理。本发明的受激准分子灯点灯装置包括:受激准分子灯(7)、点灯电路部(20)、及控制部(10),其中,控制部控制点灯电路部,使得在受激准分子灯的起动期间中将比供给到受激准分子灯的稳定点灯时的稳定电力高的电力供给到受激准分子灯,当受激准分子灯转移至稳定点灯状态后,将稳定电力供给到受激准分子灯。
搜索关键词: 受激准 分子 点灯 装置 方法
【主权项】:
1、一种受激准分子灯点灯装置,其包括:受激准分子灯,由放电而生成受激准分子的放电气体被填充于放电容器内;点灯电路部,向该受激准分子灯供给频率为1MHz至1GHz的高频电力并点灯受激准分子灯;以及控制部,其特征在于,上述控制部控制上述点灯电路部,使得在受激准分子灯的起动期间中将比供给到受激准分子灯的稳定点灯时的稳定电力高的电力供给到上述受激准分子灯、并当受激准分子灯转移至稳定点灯状态之后将稳定电力供给到受激准分子灯。
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