[发明专利]具有非平面晶体管的固态图像传感器设备及其制造方法

摘要

提供了CMOS图像传感器设备以及制造该设备的方法，其中用具有垂直栅电极和沟道的非平面晶体管设计有源像素传感器，这可最小化图像滞后和暗电流的影响。

主权项

1、一种图像传感器设备，包括：半导体衬底，其包括由在半导体衬底中形成的隔离层限定的多个有源区域；以及包含多个像素的像素阵列，其中每个像素形成在所述有源区域之一中，其中每一个像素包括：光接收元件；以及电荷转移元件，用于从光接收元件中转移电荷，其中电荷转移元件包含在像素的有源区域中的用以转移所述电荷的垂直沟道区域、在隔离层中形成的并且邻近垂直沟道区域布置的垂直栅电极、以及布置在垂直沟道区域和垂直栅电极之间的绝缘材料。