[发明专利]等离子装置和通过其制造光纤预制件的装置无效
| 申请号： | 200510118728.5 | 申请日： | 2005-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1832656A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 朴世镐;金镇杏;金镇汉;都文显 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/24;C23C14/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种等离子装置。所述等离子装置包括具有用于在其中容纳前体气体和氧气的中空部分的内电极，在其中容纳内电极的外电极同时在其间形成间隙，其方式是惰性气体和氧气被引入到所述间隙中。等离子装置也包括用于将DC电压或者射频(RF)AC电压施加到内、外电极上的电源以在内外电极之间产生等离子。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 装置 通过 制造 光纤 预制件 | ||
【主权项】：
1.一种等离子装置，包括：多个电极，所述电极被对齐以在其间形成间隙以当射频(RF)AC电压施加到其上时产生等离子；以及电源，用于将RF AC电压施加到多个电极。
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