[发明专利]铜合金薄膜、铜合金溅射靶和平板显示器无效
| 申请号： | 200510118731.7 | 申请日： | 2005-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1769985A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 钉宫敏洋;富久胜文;高木胜寿;中井淳一 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | G02F1/1343 | 分类号： | G02F1/1343;C22C9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈长会 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种铜合金薄膜，含有Fe和P以及余量基本上是Cu，其中Fe和P的含量满足所有下列条件(1)～(3)，并且，其中，在200～500℃下热处理1～120分钟之后，Fe2P析出在Cu的晶界上：1.4NFe+8NP＜1.3(1)；NFe+48NP＞1.0 (2)；12NFe+NP＞0.5(3)；其中，NFe表示Fe的含量(原子百分比)；NP表示P的含量(原子百分比)。 | ||
| 搜索关键词： | 铜合金 薄膜 溅射 平板 显示器 | ||
【主权项】：
1.一种含有Fe和P以及余量基本上是Cu的铜合金薄膜，其特征在于，Fe和P的各含量同时满足下式(1)～(3)：1.4NFe+8NP＜1.3 (1)NFe+48NP＞1.0 (2)12NFe+NP＞0.5 (3)式中，NFe表示Fe的含量(原子百分比)；NP表示P的含量(原子百分比)。
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