[发明专利]图案形成系统、图案形成方法以及电子设备有效

专利信息
申请号: 200510118732.1 申请日: 2005-10-27
公开(公告)号: CN1784124A 公开(公告)日: 2006-06-07
发明(设计)人: 樱田和昭;上原升;新馆刚 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: H05K3/14 分类号: H05K3/14;G09F9/00;H01L21/60
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李香兰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的图案形成系统,是具备抽出已被卷取的带状基板(11)的供带盘(10)、卷取已被抽出的所述带状基板(11)的卷线筒(15)、在供带盘(10)与卷线筒(15)之间向带状基板(11)喷出液滴形成图案的液滴喷出装置(20)的图案形成系统,液滴喷出装置(20)具备吸附带状基板(11)同时可以移动的工作台(4),在带状基板(11)的纵向上的工作台(4)的两个端部上,设有带状基板(11)的下垂机构(50)、(60)。由此,本发明提供一种可以使带状基板(11)的位置调整容易化而形成准确的图案的图案形成系统。
搜索关键词: 图案 形成 系统 方法 以及 电子设备
【主权项】:
1.一种图案形成系统,具备抽出已被卷取的带状基板的供带盘、卷取已被抽出的所述带状基板的卷线筒、在所述供带盘与所述卷线筒之间向所述带状基板喷出液滴形成图案的液滴喷出装置,所述液滴喷出装置具备在吸附所述带状基板的同时可以移动的工作台,在所述带状基板的纵向的所述工作台的两个端部上,设有所述带状基板的下垂机构。
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