[发明专利]研磨垫与其制造方法有效
| 申请号： | 200510118845.1 | 申请日： | 2005-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1954967A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王裕标;欧阳允亮 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 台湾省台中市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种黏着层与研磨层之间具有均匀的黏着力的研磨垫与其制造方法。此研磨垫的制造方法有两种，一种为先在研磨层上压制黏着层之后，再图案化研磨层即可。另一种为先制造具有与研磨层的图案互补的互补垫，将互补垫堆栈于图案化的研磨层的上方，形成具有平整外形的复合垫。然后于研磨层的另一面压制黏着层，再移除互补垫即可。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 与其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫的制造方法，包括：压制一第一黏着层于一研磨层的一第一面；以及图案化该研磨层的一第二面，以形成至少一开口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于智胜科技股份有限公司，未经智胜科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510118845.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
