[发明专利]可校准电压的电光探测器

摘要

本发明的可校准电压的电光探测器属用于集成电路检测的装置。由激光器8、显微镜物镜头13、电光探头14；照明光源15、滤光镜16、光电探测器26等组成；所说的电光探头14是由透明基板1、其上表面镀有消反射膜2、其下表面镀有接地导电膜3、在接地导电膜3下的电光介质层4构成，电光介质层4的极化方向和光束传播方向皆与接地导电膜3的法向平行。本发明的电光探头输出的电光信号所对应的电路里电压信号幅度能够予以校准，增强了电光探测技术在集成电路芯片内部特性测试和电路故障诊断方面的应用；电光探头具有较高的电压灵敏度和较高的探测电场分布的空间分辨率；对电路工作状态无可观测的干扰；避免相邻信号传输线间的电光串信号。

主权项

1、一种可校准电压的电光探测器，由电光探测单元、探测点位置监控单元和集成电路测试台组成；所说的集成电路测试台的组成构件是探针台(25)、探针(24)和集成电路测试电源(28)；其特征是，所说的电光探测单元的组成构件按光路顺序是，激光器驱动装置(7)和激光器(8)发出的探测光束经准直透镜(9)、扩束器(12)和探测光分束镜(18)和显微镜物镜头(13)，射入电光探头(14)并被聚焦到待测集成电路芯片(19)中的传输电信号的金属微带上，探测光被金属微带反射回来；探测光在电光探头(14)里往返过程中被转化为强度调制的信号光，再经过显微镜物镜头(13)、探测光分束镜(18)、扩束器(12)反射到光电探测器(26)，光电探测器(26)输出的电信号输入到信号放大器与存储显示装置(27)；所说的探测点位置监控单元的组成构件按光路顺序是，由照明光源(15)发出的自发辐射光经过滤光镜(16)选出适当波段作为照明光，经过照明光分束镜(17)、探测光分束镜(18)、显微镜物镜头(13)和电光探头(14)，照射到被测集成电路芯片(19)的器件面上并被反射回来，被反射的照明光反向经过电光探头(14)、显微镜物镜头(13)和探测光分束镜(18)，与透过探测光分束镜(18)的部分探测光会合一起，经过照明光分束镜(17)在摄像机(20)的CMOS摄像头上成像，并在监视器(21)上显示出被测集成电路芯片(19)上的器件图案和探测光聚焦光点的位置。