[发明专利]真空抽气装置有效
| 申请号： | 200510119335.6 | 申请日： | 2005-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN1959108A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 出永川;曾国邦 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B41/06;F04B49/06;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种真空抽气装置，与一待抽气空间连通，包括一第一泵(pump)、一第二泵，以及一控制电路。控制电路与第一泵及第二泵电性连接，用以选择性控制第一泵及第二泵的运作。当控制电路控制第一泵单独启动时，第一泵用以将待抽气空间抽气为一第一真空环境；当控制电路控制第一泵及第二泵同时启动时，第一泵及第二泵用以将待抽气空间抽气为一第二真空环境。第二真空环境的压力小于第一真空环境的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空抽气装置，与一待抽气空间连通，包括：一第一泵及一第二泵；以及一控制电路，与该第一泵及该第二泵电性连接，用以选择性控制该第一泵及该第二泵的运作；当该控制电路控制该第一泵单独启动时，该第一泵用以将该待抽气空间抽气为一第一真空环境；当该控制电路控制该第一泵及该第二泵同时启动时，该第一泵及该第二泵用以将该待抽气空间抽气为一第二真空环境，该第二真空环境的压力小于该第一真空环境的压力。
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