[发明专利]含萘酚官能性的正性抗蚀剂有效
| 申请号： | 200510119431.0 | 申请日： | 2005-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN1790163A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | M·霍贾斯特;陈光荣;P·R·瓦拉纳斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/027;G03F7/038 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 使用具有含萘酚酯基团的丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯单体单元的聚合物获得了可用193nm照射成像的酸催化的正性抗蚀剂组合物。该抗蚀剂可任选含有具有带含氟官能团的丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯单体单元的聚合物。与常规含氟193nm的抗蚀剂相比，含有具有含萘酚酯基团的丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯单体单元的聚合物的该抗蚀剂具有提高的加工范围，包括提高的耐蚀刻性和降低的溶胀性。 | ||
| 搜索关键词： | 萘酚 官能 正性抗蚀剂 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂组合物，其包括：(a)酸敏感的丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯第一成像聚合物，和(b)照射敏感的酸产生剂，该成像聚合物包括：i)至少一些具有以下结构的丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯单体单元：![]()
其中R1是氢、甲基、F或CF3，每个R2是氢、F或CF3。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510119431.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
