[发明专利]具有执行器的半导体装置无效
| 申请号： | 200510119434.4 | 申请日： | 2005-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN1790751A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 大黑达也;池桥民雄;松尾美惠;关根秀一 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84;H01L41/08;B81B7/02;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 岳耀锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种具有执行器的半导体装置，其中具有半导体基板；在上述半导体基板的上方设置空间进行配置，具有下部电极及上部电极和夹在这些下部电极及上部电极之间的压电体层，在上述下部电极、上述上部电极及上述压电体层之中至少上述压电体层的整个表面大致是平坦的执行器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 执行 半导体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具有表面MEMS元件的半导体装置，具有：半导体基板；以及在上述半导体基板的上方设置空间而配置的执行器，该执行器具有下部电极及上部电极和夹在这些下部电极及上部电极之间的压电体层，至少上述压电体层的整个表面基本上是平坦的。
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