[发明专利]一种波导共振增强型光电探测器

摘要

一种波导共振增强型光电探测器，涉及一种光电探测器，尤其是涉及一种波导共振增强型光电探测器。提供一种可实现对入射光的有效限制和共振增强效应，提高器件的量子效率，同时使器件具有波长选择特性的一种波导共振增强型光电探测器，主要用于对近红外波段入射光的探测。设有脊型光波导、两个介质分布布拉格反射镜和电极，光波导生长在SOI衬底或硅单晶衬底上，作为吸收区，两个反射镜分别设于光波导两端，形成共振腔，电极端接光波导N型硅和P型硅。是一种高量子效率的Si基光电探测器，工作波长从可见光到近红外光。器件尺寸与RC时间大幅减小，在相同的量子效率下可得到更高的响应速度。吸收区厚度不受SiGe临界厚度和响应速度限制。

主权项

1、一种波导共振增强型光电探测器，其特征在于设有脊型光波导、两个介质分布布拉格反射镜和电极，脊型光波导生长在SOI衬底或硅单晶衬底上，脊型光波导作为吸收区，两个介质分布布拉格反射镜分别设于脊型光波导的两端，形成共振腔，电极正负端分别接脊型光波导N型硅和P型硅。