[发明专利]焙烧装置无效
申请号: | 200510120198.8 | 申请日: | 2005-11-15 |
公开(公告)号: | CN1776443A | 公开(公告)日: | 2006-05-24 |
发明(设计)人: | 玉石正幸 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;H01L21/66 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种焙烧装置,由于保持在保持部(4)上的各半导体激光器元件(2)的散热部(58)与散热片(5)接触,所以因各半导体激光器元件(2)工作而产生的热传递给散热片(5)。由于导热管(6)沿着由保持部(4)保持的各半导体激光器元件(2)的排列方向设在散热片(5)上,向散热片(5)传递热,并且从散热片(5)传递热,所以能够沿着各半导体激光器元件(2)的排列方向,抑制散热片(5)的温度的偏差,由此能够抑制各半导体激光器元件(2)的温度的偏差。 | ||
搜索关键词: | 焙烧 装置 | ||
【主权项】:
1.一种焙烧装置(1),其特征在于,包括:恒温槽,具有能够收容多个被试验体(2)的收容空间(13),该被试验体(2)具有因工作而发热的发热部;保持部(4),设在收容空间(13)上,用于保持多个被试验体(2);工作状态检测部(8),向被保持部(4)所保持的各被试验体(2),发送使各被试验体(2)工作的工作信号,检测被发送了工作信号的各被试验体(2)的输出并作为工作状态输出检测的结果;散热片(5),设在收容空间(13)上,与被保持部(4)所保持的各被试验体(2)的发热部接触;以及导热管(6),沿着由保持部(4)保持的各被试验体(2)的排列方向设在散热片(5)上,传递散热片(5)的热。
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