[发明专利]具有沿转动方向振荡的惯性质量块的角速度探测器

摘要

一种角速度探测(100)包括通过驱动梁(40)支承在基体(10)上的盘状惯性质量块(30)和通过探测梁(50)连接在惯性质量块上的第二质量块(32)。惯性质量块(30)由静电力驱动沿其绕中心轴(z)的转动方向振荡。当惯性质量块(30)在振荡时，同时绕与中心轴(z)垂直的探测轴(x)的角速度(Ωx)施加在第二质量块(32)上时，第二质量块(32)沿平行于中心轴(z)的方向位移。第二质量块(32)与基体(10)之间的电容随着第二质量块的位移而变化。基于电容的变化而探测角速度(Ωx)。因为驱动梁(40)允许惯性质量块(30)仅沿其转动方向振荡，可以容易地设计和制造驱动梁(40)。

主权项

1、一种角速度探测器(100)，包括：基体(10)；固定在基体(10)上的支承件(20)；和由支承件支承的惯性质量块(30)，该惯性质量块可以绕与基体平面相垂直的中心轴(z)振荡，其中：所述惯性质量块(30)包括通过弹性驱动梁(40)连接到支承件上的第一质量块(31)和通过弹性探测梁(50)连接到第一质量块(31)上的第二质量块(32)，从而使得当惯性质量块绕中心轴(z)振荡时，一旦角速度(Ωx)施加在垂直于中心轴的探测轴(x)上，第二质量块就沿平行于中心轴(z)的方向位移；并且，基于第二质量块(32)在平行于中心轴(z)方向上相对于基体(10)平面的位移，来探测绕探测轴(x)的角速度(Ωx)。