[发明专利]离子源及使用所述离子源的模具抛光装置有效
| 申请号： | 200510120697.7 | 申请日： | 2005-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN1983504A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/02;B23H1/00;B23H9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子源及使用所述离子源的模具抛光装置。所述模具抛光装置包括一离子源，所述离子源用于发射进行抛光的离子束，所述离子源包括一腔体及设置于所述腔体中的一阴极灯丝、一阴极、一屏极、一加速极及一可调屏极，所述阴极靠近所述阴极灯丝设置，所述屏极、加速极及可调屏极依次远离所述阴极设置，所述可调屏极包括一通孔，所述通孔大小及形状可调，从而可利用所述通孔调节射出的离子束截面大小及形状。利用本明的模具抛光装置，可获得中心线平均表面粗糙度处于0.2～1纳米的平滑表面。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 使用 模具 抛光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子源，其包括一腔体及设置在所述腔体中的一阴极灯丝、一阴极、一屏极、一加速极及一可调屏极，所述阴极靠近所述阴极灯丝设置，所述屏极、加速极及可调屏极依次远离所述阴极设置，且其上的电位依次降低，所述可调屏极包括一通孔，所述通孔大小及形状可调，从而可利用所述通孔调节射出的离子束截面大小及形状。
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