[发明专利]阳极板及包括所述阳极板的溅镀装置无效
| 申请号： | 200510121252.0 | 申请日： | 2005-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN1986874A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 萧博元 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种阳极板及一种包括所述阳极板的溅镀装置。所述阳极板包括基板与挡板，所述挡板设置于所述基板上，用于紧贴待溅镀的基材侧面，且挡板顶部高出所述基材的顶部。利用本发明的阳极板溅镀DLC膜层，在基材表面边缘处不产生包覆结构，膜层不易脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极板 包括 装置 | ||
【主权项】：
1.一种阳极板，其包括基板与挡板，所述挡板设置于所述基板上，用于紧贴待溅镀的基材侧面，且挡板顶部高出所述基材的顶部。
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