[发明专利]半穿半反液晶显示器制造方法无效
| 申请号： | 200510121257.3 | 申请日： | 2005-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN1987654A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 颜子旻;赖建廷 | 申请（专利权）人： | 群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00;H01L21/027;G03F7/26;G02F1/133 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种半穿半反液晶显示器制造方法，该半穿半反液晶显示器包括一基板，该基板包括一反射区与一穿透区，该制造方法包括：在该基板表面依次形成一透明电极层、一缓冲层、一反射金属层和一光阻层；提供一光罩，该光罩包括一第一区域与一第二区域，第一区域的透光率大于第二区域的透光率，第一区域对应穿透区，第二区域对应反射区；利用该光罩对该光阻层曝光，并对曝光后的光阻层显影，使得该光阻层在反射区内的厚度大于该光阻层在穿透区内的厚度；灰化该光阻层，以去除穿透区的光阻，反射区则剩余部分光阻；蚀刻穿透区的缓冲层与反射金属层，暴露出穿透区的透明电极层，即为穿透电极；去除反射区的剩余光阻，暴露出反射区的反射金属层，即为反射电极。 | ||
| 搜索关键词： | 半穿半反 液晶显示器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半穿半反液晶显示器制造方法，该显示器包括一基板，该基板包括一反射区与一穿透区，该制造方法包括以下步骤：在该基板表面依次形成一透明电极层、一缓冲层和一反射金属层；在该反射金属层表面沉积一光阻层；提供一光罩，该光罩包括一第一区域与一第二区域，第一区域的透光率大于第二区域的透光率，该第一区域对应该穿透区，该第二区域对应该反射区；利用该光罩对该光阻层曝光，并对曝光后的光阻层显影，使得该光阻层在该反射区内的厚度大于该光阻层在该穿透区内的厚度；灰化该光阻层，以去除穿透区的光阻，反射区则剩余部分光阻；蚀刻该穿透区的缓冲层与反射金属层，暴露出穿透区的透明电极层，即为穿透电极；去除反射区的剩余光阻，暴露出反射区的反射金属层，即为反射电极。
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