[发明专利]分割物体的支架和方法及带有被分割物体的柔性材料层无效
申请号: | 200510121574.5 | 申请日: | 2005-12-30 |
公开(公告)号: | CN1814392A | 公开(公告)日: | 2006-08-09 |
发明(设计)人: | J·L·J·泽尔;H·J·范埃格蒙德 | 申请(专利权)人: | 菲科公司 |
主分类号: | B23K26/42 | 分类号: | B23K26/42;B23K26/18;B23K37/04;H01L21/683 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 蒋旭荣 |
地址: | 荷兰*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 本发明涉及一种在用激光分割物体的过程中用来支撑并接合物体的支架和方法,所述物体例如但不是唯一的是半导体产品。本发明也涉及一种带有若干连接到材料层的一个侧面上的被分割物体的柔性材料层。 | ||
搜索关键词: | 分割 物体 支架 方法 带有 柔性 材料 | ||
【主权项】:
1、一种用来在用激光分割物体的过程中支撑并接合物体的支架,包括:-设置有连接着多个抽吸口的平坦侧的形状保持支座,以及-连接到形状保持支座的所述平坦侧的柔性材料层,所述材料层可透气,其中形状保持支座和柔性材料层至少部分由至少基本上不吸收激光的材料制成。
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