[发明专利]从基体表面去除粘性材料的方法、处理液体和装置无效
| 申请号： | 200510121594.2 | 申请日： | 2005-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN1808286A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 村冈久志;野崎正 | 申请（专利权）人： | 皮瑞克斯股份有限公司;UMS有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;B08B3/00;C09D9/00;C11D7/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 韦欣华;李连涛 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | [目的]从基体表面去除有机粘性材料的处理液、处理方法和去除装置，其可以在室温去除甚至因高剂量离子注入而硬化和变质的抗蚀膜，其提供了碳酸亚乙酯处理的环保性，并利用臭氧再生使该处理能重复进行。[解决方式](1)从基体表面去除有机粘性材料的方法，其中将表面上带有有机粘性材料的基体与含有重量比范围为85/15至55/45的碳酸亚乙酯和γ－丁内酯混合溶剂的处理液接触，以剥离所述粘性材料。(2)从基体表面去除有机粘性材料的处理液，包含0－5重量％的臭氧与混合溶剂的反应产物和有机粘性材料与臭氧的反应产物的组合，所述混合溶剂是重量比为85/15到55/45的碳酸亚乙酯和γ－丁内酯的混合溶剂，其中该处理液的余下组分是该所述混合溶剂。(3)从基体表面去除有机粘性材料的装置，包括：A)输送以碳酸亚乙酯和γ－丁内酯为主要组分的混合溶剂的处理液至处理区域的处理液传输设备，B)在上述处理区域内将处理液与带有有机粘性材料的基体表面接触的粘性材料接触设备，C)通过至少一个暂时存储器件将从该处理区域排放的处理液送回该处理区域的处理液再循环设备，和D)在该处理区域中和/或暂时存储器件中将含有臭氧的气体与处理液接触的含有臭氧气体的接触设备。 | ||
| 搜索关键词： | 基体 表面 去除 粘性 材料 方法 处理 液体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种从基体表面去除有机粘性材料的方法，其中将表面上带有有机粘性材料的基体与含有重量比范围为85/15至55/45的碳酸亚乙酯和γ-丁内酯混合溶剂的处理液接触，以剥离所述粘性材料。
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