[发明专利]传送用轴、辊刷轴及基板处理装置有效
| 申请号： | 200510121666.3 | 申请日： | 2005-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1814523A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 西部幸伸;藤田茂树;矶明典;和歌月尊彦;牧野勉 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | B65G39/02 | 分类号： | B65G39/02;B65G49/06;B08B7/04;B08B1/04;B08B3/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使加长弯曲量也小的、用于传送基板的传送用轴。本发明的传送用轴，用于传送利用处理液进行处理的基板，该传送用轴包括：轴部(12)，具有由碳纤维形成的芯部件(13)和由对上述处理液有抗腐蚀性的合成树脂形成、包覆芯部件的外周面的外皮部件(14)；以及支承辊(6)，以预定间隔设置在该轴部的轴方向上，支承上述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 辊刷轴 处理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种传送用轴，用于传送利用处理液进行处理的基板，其特征在于，该传送用轴包括：轴部，具有由碳纤维形成的芯部件和由对上述处理液具有抗腐蚀性的材料形成、包覆上述芯部件的外周面的包覆部件；以及支承辊，以预定间隔设置在该轴部的轴方向上，支承上述基板。
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