[发明专利]等离子体激发系统有效
| 申请号： | 200510121692.6 | 申请日： | 2005-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN1863428A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 阿尔弗雷德·特鲁什;马库斯·班瓦尔特;洛塔尔·沃尔夫;马丁·施托伊贝尔;斯文·阿克森贝克;彼得·威德穆特 | 申请（专利权）人： | 许廷格电子有限及两合公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 等离子体激发系统(1)，用于为等离子体处理提供功率，包括至少一个可连接于市电电源(3)的DC电流源(2、2’、2”、2”’)；至少一个连接于DC电流源(2、2’、2”、2”’)的中频(MF)单元(4，8)，用于在其输出端产生AC电压，其中MF单元(4，8)的输出端可连接于涂覆室(7)的电极(5、6、9、10)；以及调节和/或控制装置(11)，其被连接于该至少一个DC电流源(2、2’、2”、2”’)用于调节和/或控制DC电流源(2、2’、2”、2”’)的输出值，还被连接于该至少一个MF单元(4，8)用于调节和/或控制MF单元(4，8)的输出值，其中调节和/或控制装置(11)包括至少一个输入接口(11，11d)，用于提供描述该至少一个MF单元(4，8)的输出值的值；以及至少一个控制输出接口(11e，11f)，用于连接该至少一个MF单元(4，8)的控制输入端。从而能产生均匀的二维等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 激发 系统 | ||
【主权项】：
1、等离子体激发系统(1)，用于为等离子体处理提供功率，所述系统包 括至少一个可连接于市电电源(3)的DC电流源(2、2’、2”、2)；至少一个 连接于所述DC电流源(2、2’、2”、2)的中频(MF)单元(4，8)，用于 在其输出端产生AC电压，其中所述MF单元(4，8)的输出端可连接于涂覆 室(7)的电极(5、6、9、10)；以及调节和/或控制装置(11)，其被连接于所 述至少一个DC电流源(2、2’、2”、2)用于调节和/或控制所述DC电流源 (2、2’、2”、2)的输出值，还被连接于所述至少一个MF单元(4，8)用 于调节和/或控制所述MF单元(4，8)的输出值，其中所述调节和/或控制装置 (11)包括至少一个输入接口(11，11d)，用于提供描述所述至少一个MF单 元(4，8)的输出值的值；以及至少一个控制输出接口(11e，11f)，用于连接 所述至少一个MF单元(4，8)的控制输入端，其中设置被并联连接并可连接 于市电电源(3)的若干DC电流源(2、2’)，用于产生第一中间电路电压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于许廷格电子有限及两合公司，未经许廷格电子有限及两合公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510121692.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
