[发明专利]用于转换激光束的装置以及激光加工装置无效
申请号: | 200510121737.X | 申请日: | 2005-12-23 |
公开(公告)号: | CN1821859A | 公开(公告)日: | 2006-08-23 |
发明(设计)人: | 汉斯·J.·梅尔 | 申请(专利权)人: | 日立比亚机械股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/35 | 分类号: | G02F1/35;B23K26/06;B23K26/067 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 董莘 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种转换装置,用于选择性地将线性偏振的输入激光光束(110a)转换成第一输出激光光束(130a)或第二输出激光光束(160a)。该转换装置包括初级光学转换元件,其具有用于有目的地旋转输入激光光束(110a)的偏振方向的初级光学元件(EOM)和串接的、根据其偏振方向将输入激光光束导向第一光路(120a)或第二光路(150a)的初级偏振相关反射器(R)。在两个光路中的每一个(120a或150a)中,设置另一光学转换元件,其包括用于有目的地旋转相应激光光束(120b或150b)的偏振方向的次级光学元件(EOM1或EOM2)和根据其偏振方向将相应激光光束导向输出激光光束(130a或160a)的次级偏振相关反射器(R1或R2)。进一步,本发明还提供一种激光加工装置,其包括如上所述的激光光束转换装置。 | ||
搜索关键词: | 用于 转换 激光束 装置 以及 激光 加工 | ||
【主权项】:
1.用于将基本线性偏振的输入激光光束(110a,210a)选择性地转换为第一输出激光光束(130a,230a)或第二输出激光光束(160a,260a)的装置,包括●初级光学元件(EOM),用于选择性地旋转所述输入激光光束(110a,210a)的偏振方向,●在所述初级光学元件(EOM)的下游的初级偏振相关反射器(R),所述初级偏振相关反射器被这样构造,使得-入射激光(110b,210b)在第一方向(S)上偏振的部分可被导向第一光路(120a,220a),并且-入射激光(110b,210b)在第二方向(P)上偏振的部分可被导向第二光路(150a,250a),●设置在所述第一光路(120a,220a)中的第一次级光学元件(EOM1),用于选择性地旋转被导向所述第一光路(120a,220a)的激光的偏振方向,●在所述第一次级光学元件(EOM1)的下游的第一次级偏振相关反射器(R1)用于空间地分离两个在不同方向(S,P)上偏振的第一光束部分,其中所述两个第一光束部分中的其中一个表示第一输出激光光束(130a,230a),●设置在第二光路(150a,250a)中的第二次级光学元件(EOM2)用于选择性地旋转被导向所述第二光路(150a,250a)的激光的偏振方向,以及●在所述第二次级光学元件(EOM2)的下游的第二次级偏振相关反射器(R2)用于空间地分离两个在不同方向(S,P)上偏振的第二光束部分,其中所述两个第二光束部分中的其中一个表示第二输出激光光束(160a,260a)。
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