[发明专利]用于沉积的掩模和制造该掩模的方法

摘要

本发明公开了一种用于沉积平板显示器的薄膜的掩模以及制造该掩模的方法。掩模的实施例能够提高定位的精度，并且通过利用缓冲构件连接加固构件和布置在加固构件的开口上的掩模图案单元来防止由掩模的热膨胀引起的问题。掩模包括：加固构件，包括多个第一开口；掩模图案单元，与加固构件的第一开口对应布置，并由加固构件支撑；缓冲构件，包括与加固构件的第一开口对应的多个第二开口，并且连接加固构件和掩模图案单元，以支撑加固构件和掩模图案单元。

主权项

1、一种掩模，包括：加固构件，包括至少一个第一开口；至少一个掩模图案单元，布置在与所述至少一个第一开口对应的位置，并且由所述加固构件支撑；缓冲构件，包括与所述至少一个第一开口对应的至少一个第二开口，并且连接所述加固构件和所述掩模图案单元，以支撑所述加固构件和所述掩模图案单元。