[发明专利]检测目标环境变量的装置和方法有效
申请号: | 200510124304.X | 申请日: | 2005-11-28 |
公开(公告)号: | CN1854689A | 公开(公告)日: | 2006-11-01 |
发明(设计)人: | 理查德·C·鲁比;格雷厄姆·M·弗劳尔;约翰·D·拉森三世;马克·A·安奎茨 | 申请(专利权)人: | 安捷伦科技有限公司 |
主分类号: | G01D5/00 | 分类号: | G01D5/00 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王怡 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了一种用于检测目标环境变量(TEV)的装置和方法。包括第一薄膜体声波谐振器(FBAR)的第一FBAR振荡器生成第一频率,其中第一FBAR具有对目标环境变量的第一响应。包括第二薄膜体声波谐振器(FBAR)的第二FBAR振荡器生成第二频率,其中第二FBAR具有对目标环境变量的第二响应。耦合到第一FBAR振荡器和第二FBAR振荡器的电路基于第一频率和第二频率确定目标环境变量(例如TEV的改变)。 | ||
搜索关键词: | 检测 目标 环境变量 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种检测目标环境变量的装置,包括:第一薄膜体声波谐振器振荡器,其包括具有对所述目标环境变量的第一响应的第一薄膜体声波谐振器,其中所述第一薄膜体声波谐振器振荡器生成第一频率;第二薄膜体声波谐振器振荡器,其包括具有对所述目标环境变量的第二响应的第二薄膜体声波谐振器,其中所述第二薄膜体声波谐振器振荡器生成第二频率;以及电路,其基于所述第一频率和所述第二频率检测所述目标环境变量的改变。
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