[发明专利]气体激光振荡器

摘要

提供一种气体激光振荡器(10)，其具有：电压检测单元(4a～4d)，其对放电点亮前的放电管的多个放电管区段(6a～6d)每一个的电压进行检测；和放电管区段点亮判定单元(1)，其根据由电压检测单元检测到的多个放电管区段(6a～6d)的电压，判断是否点亮各自的多个放电管区段，放电管区段点亮判定单元仅在多个放电管区段中的全部的放电管区段的电压比规定的电压(Vb)小的情况下，使多个放电管区段全部点亮。由此，不必伴随操作者的作业，通过在放电点亮前判断激光气体的异常，来防止放电管因绝缘破坏而损坏。

主权项

1.一种气体激光振荡器(10)，其具有：电压检测单元(4a～4d)，其对放电点亮前的放电管的多个放电管区段(6a～6d)每一个的电压进行检测；和放电管区段点亮判定单元(1)，其根据由所述电压检测单元(4a～4d)所检测到的所述多个放电管区段(6a～6d)的电压，判断是否点亮各自的所述多个放电管区段(6a～6d)，其特征在于，所述放电管区段点亮判定单元(1)仅在所述多个放电管区段(6a～6d)中的全部的放电管区段的电压比规定的电压(Vb)小的情况下，使所述多个放电管区段(6a～6d)全部点亮。