[发明专利]薄膜体声波滤波装置及制造薄膜体声波滤波装置的方法无效
| 申请号： | 200510124709.3 | 申请日： | 2005-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN1808898A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | G·费廷格尔;J·凯蒂拉 | 申请（专利权）人： | 因芬尼昂技术股份公司 |
| 主分类号： | H03H9/56 | 分类号： | H03H9/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;张志醒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜BAW滤波装置及用于制造薄膜BAW滤波装置的方法。所述薄膜BAW滤波装置含有至少一个CRF部和至少一个梯形或栅形滤波部，其中所述CRF部含有至少两个耦合的谐振器，所述CRF部和所述梯形或栅形滤波部集成在同一衬底上，从而制成所述薄膜BAW滤波装置。本发明还涉及用于制造薄膜BAW滤波装置的方法，其中包括至少一个CRF部和至少一个梯形或栅形滤波部，所述CRF部含有至少两个耦合的谐振器，所述CRF部和所述梯形或栅形滤波部集成在同一衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 滤波 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜BAW滤波装置，包括：至少一个CRF部，以及至少一个梯形或栅形滤波部，所述CRF部含有至少两个耦合的谐振器(2，4)；其中所述CRF部和所述梯形或栅形滤波部集成在共同的衬底(7)上。
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