[发明专利]抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种抗蚀剂组合物，其不仅可以提高调制抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜密合性的特性，而且抗蚀剂稳定性提高，还具有优异的安全性，其是含有抗蚀剂成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，该有机溶剂是从含有一缩二丙二醇单烷基醚、一缩二丙二醇烷基醚乙酸酯等的组中选择的至少1种一缩二丙二醇衍生物，且该一缩二丙二醇衍生物的用下述式(1)～(4)(式中，R¹表示烷基或芳基，R²表示氢原子、烷基、芳基、乙酰基或丙酰基，R²表示乙酰基或丙酰基)表示的结构异构体中的式(1)表示的结构异构体的含有率为30重量％或30重量％以上且不足100重量％的结构异构体混合物。

主权项

1.一种抗蚀剂组合物，该组合物是含有抗蚀剂成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，其特征在于，该有机溶剂是从含有一缩二丙二醇单烷基醚、一缩二丙二醇单芳基醚、一缩二丙二醇二烷基醚、一缩二丙二醇二芳基醚、一缩二丙二醇烷基芳基醚、一缩二丙二醇烷基醚乙酸酯、一缩二丙二醇芳基醚乙酸酯、一缩二丙二醇烷基醚丙酸酯以及一缩二丙二醇芳基醚丙酸酯的组中选择的至少1种一缩二丙二醇衍生物，且该一缩二丙二醇衍生物的用下述式(1)～(4)(式中，R¹表示烷基或芳基，R²表示氢原子、烷基、芳基、乙酰基或丙酰基，R^2′表示氢原子、乙酰基或丙酰基)表示的结构异构体中的式(1)表示的结构异构体的含有率为30重量％或30重量％以上且不足100重量％的结构异构体混合物。