[发明专利]薄膜式探针卡有效
| 申请号： | 200510124838.2 | 申请日： | 2005-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1971288A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 王志源;张恒毅 | 申请（专利权）人： | 胜华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/00;G02F1/13;G01M11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是一种薄膜式探针卡，是于一板体表面设有复数条导线，且于每一导线上设置至少一与该导线电性导通的薄膜探针，另于各该探针的附近以相隔一间距的方式，设置有复数个弹性体，该弹性体用以吸收探针卡于检测时所承受的接触力道，据此以降低探针被磨耗的程度而延长探针卡的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 探针 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，其特征在于，包含：一基板；复数个探针，是分布于该基板表面；复数个弹性体，分布于该基板表面，该弹性体相邻于该探针且与邻近的探针之间隔有一间距。
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