[发明专利]高对比度气体放电板用电极及其制造方法无效
申请号: | 200510125096.5 | 申请日: | 1999-03-09 |
公开(公告)号: | CN1808671A | 公开(公告)日: | 2006-07-26 |
发明(设计)人: | 王宏;D·J·迪瓦恩 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01J17/04 | 分类号: | H01J17/04;H01J17/49 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 蔡胜有 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种薄膜叠层,包括:(a)具有均匀组成的铬、碳和氟薄膜;(b)气体放电电极的导电层可以粘合于其上的纯铬膜;和(c)在所述铬、碳和氟薄膜和所述纯铬膜之间的逐渐变化的过渡层,其中,所述逐渐变化的铬、碳和氟过渡层的碳和氟的含量随着与所述纯铬膜之间的距离减小而减小。 | ||
搜索关键词: | 对比度 气体 电板 用电 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜叠层,包括:(a)具有均匀组成的铬、碳和氟薄膜;(b)气体放电电极的导电层可以粘合于其上的纯铬膜;和(c)在所述铬、碳和氟薄膜和所述纯铬膜的表面之间的逐渐变化的过渡层,其中,所述逐渐变化的铬、碳和氟过渡层的碳和氟的含量随着与所述纯铬膜的表面之间的距离减小而减小。
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