[发明专利]微芯片检查装置及其构成部件无效
| 申请号： | 200510125124.3 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1776403A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | 野泽繁典;松本茂树 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种即使使用放电灯作为光源时，也可得到高测定精度的微芯片检查装置、以及用于该微芯片检查装置的微芯片及芯片架。一种微芯片检查装置，具备具有吸光光度测定部的微芯片，透过微芯片的吸光光度测定部的由光源放射的光在透射光受光部被接受，其特征在于，设有：孔径部，沿所述微芯片的吸光光度测定部的光轴方向直线状地延伸，并通过使从其一端射入的由光源放射的光从另一端射出而将其导入所述微芯片的该吸光光度测定部；入射光分割反射镜，配置于从孔径部的一端至吸光光度测定部的光路上，且使射入的光的一部分透射，使另一部分反射；以及反射光受光部，用于接受来自该反射镜的反射光。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 检查 装置 及其 构成 部件 | ||
【主权项】：
1.一种微芯片检查装置，具备具有吸光光度测定部的微芯片，透过该微芯片的吸光光度测定部的由光源放射的光在透射光受光部被接受，其特征在于，设有：孔径部，沿所述微芯片的吸光光度测定部的光轴方向直线状地延伸，并通过使从其一端射入的由光源放射的光从另一端射出而将其导入该吸光光度测定部；入射光分割反射镜，配置于从该孔径部的一端至吸光光度测定部的光路上，且使射入的光的一部分透射，使另一部分反射；以及反射光受光部，用于接受来自该反射镜的反射光。
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