[发明专利]附带倾斜功能的浮起单元及浮起装置有效
| 申请号： | 200510125199.1 | 申请日： | 2005-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1782797A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 伊藤雅;丹羽久信;齐藤雅树 | 申请（专利权）人： | 喜开理株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种即使在空气易于逃逸的、弯曲的玻璃基板的端部也可切实地在非接触的状态下保持该基板的浮起单元、及具有该浮起单元的浮起装置，其中，将设有多孔质单元(41)的摆动基体(31)通过球面轴承由基台(21)支撑；并且在基台(21)和摆动主体(31)之间介入空气，使摆动基体(31)及多孔质单元(41)可沿着球面摆动。通过该摆动，喷出空气的改良浮起单元(12)的上面(12a)可自由倾斜。当放置弯曲的玻璃基板时，改良浮起单元(12)的上面(12a)仿效基板的倾斜而变为倾斜的状态。如果在该状态下喷出空气，则基板以与上面(12a)平行的状态浮起，浮力切实作用于基板，从而可解决所述问题。 | ||
| 搜索关键词： | 附带 倾斜 功能 浮起 单元 装置 | ||
【主权项】：
1.一种附带倾斜功能的浮起单元，具有喷出加压空气的喷出面、和使该喷出面的被动的倾斜自由化的摆动装置，利用从所述喷出面喷出的加压空气，以和该喷出面非接触的状态来支撑工件。
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