[发明专利]感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜无效
申请号: | 200510125866.6 | 申请日: | 2005-11-30 |
公开(公告)号: | CN1782873A | 公开(公告)日: | 2006-06-07 |
发明(设计)人: | 尹仁镐;金奉玘;卢昌锡;姜相起;卞景绿;朴赞硕 | 申请(专利权)人: | 东进世美肯株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/20;H01J17/49 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人: | 南霆;朱梅 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及一种感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜,特别是包含碱性可溶性丙烯酸酯树脂、具备至少2个乙烯双键的交联单体、氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂的感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜。本发明感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜,可在激光的直接曝光下形成图像,易于形成高集成度细微图像,具有良好的光敏度和分辨率,并对基板具有优秀的粘附特性。 | ||
搜索关键词: | 感光 树脂 组合 及其 制备 方法 以及 包含 胶膜 | ||
【主权项】:
1、一种感光树脂组合物,其特征是包含如下组分:碱性可溶性丙烯酸酯树脂;具备至少2个乙烯双键的交联单体;氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂。
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