[发明专利]曝光装置有效
| 申请号： | 200510126151.2 | 申请日： | 2005-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1797209A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 金勇焕 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;祁建国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曝光装置，该装置包括用于在其表面上接纳基板的卡盘，位于卡盘中并且能够上下移动以向卡盘上加载基板并且从卡盘卸载基板的多个第一起模顶杆，以及位于卡盘中并且用于释放卡盘和基板的静电电荷的多个第二起模顶杆。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于制造液晶面板的基板的曝光装置，包括：卡盘，用于在该卡盘表面上接纳所述液晶面板的基板；多个第一起模顶杆，位于卡盘中并且能够上下移动以向卡盘表面加载所述基板并且从卡盘表面卸载所述基板；以及多个第二起模顶杆，位于卡盘中并且用于释放所述卡盘和基板的静电电荷。
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