[发明专利]薄膜应力测试方法及测试结构无效
| 申请号： | 200510126258.7 | 申请日： | 2005-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1793833A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 陈兢;王莎莎 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高灵敏度薄膜应力测试方法，该方法将测试范围集中在衬底的局部，减小该局部基底的厚度，并设计固定的支撑结构；通过测量薄膜淀积前后局部基底的弯曲曲率，得到淀积在基底上的薄膜应力。本发明利用局部基底弯曲来检测薄膜的残余应力，其结构加工工艺和检测方法简单实用，不仅保留了传统基底弯曲法的所有优点，而且消除了传统基底弯曲法的系统误差，可以用于检测薄膜的局部应力，同时检测精度和灵敏度也得到了极大的提高，可以用于测试纳米级薄膜及超低应力薄膜的残余应力。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 应力 测试 方法 结构 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜应力测试方法，包括：(1)在衬底上的多个局域上进行衬底减薄；(2)衬底上淀积薄膜材料；(3)刻蚀衬底，使减薄后的衬底形成悬空结构，测量淀积薄膜的悬空结构的弯曲曲率；(4)去除薄膜，测量悬空结构的弯曲曲率，(5)根据薄膜淀积前后悬空结构的弯曲曲率，得到薄膜应力。
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