[发明专利]一种去除附着于氧化钇零件表面聚合物薄膜的清洗方法有效
| 申请号： | 200510126271.2 | 申请日： | 2005-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1850362A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陶林 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/12;H01L21/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 练光东 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种去除附着于氧化钇零件表面聚合物薄膜的清洗方法，它包括下列步骤：浸泡、粗洗和精洗。本发明所述的清洗方法操作简单，耗时少，清洗效果理想，对氧化钇损伤小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 附着 氧化钇 零件 表面 聚合物 薄膜 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1、一种去除附着于氧化钇零件表面聚合物薄膜的清洗方法，它包括下列步骤：a.浸泡；b.粗洗；c.精洗。
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